真空退火爐的性能主要體現在下面幾個參數上：放氣、抽氣速率、極限真空和泄漏率。
1、放氣
放氣是材料在真空中慢慢蒸發的現象，是真空性能上需要考慮的主要問題。在真空系統中，任何固體材料表面，都可能存在液體和氣體堆積而形成的分子層，這些分子層隨著壓力降低而逐漸蒸發。惰性氣體和揮發性溶劑放氣速度相對快些，水蒸氣和油會附著在表面，會在幾個小時后才蒸發。灰塵顆粒、多孔材料和其他外來物會增加系統的表面積，因而可引起更多的放氣出現。
溫度和輻射會給一些吸收的分子提供足夠的能量，使其脫離表面。升高爐子溫度會逐漸釋放出本來在低溫下會保持在表面的分子。因此，隨著爐子加熱，放氣現象會增多。爐子溫度降低或保持恒溫可減少這種情況。
保持清潔是減少放氣的關鍵。另外，用惰性氣體或氮氣吹洗，排除內部空氣，可避免系統表面暴露在空氣中時形成水蒸氣膜。爐腔打開后，對其內部進行加溫也能達到這個效果。要盡量減少爐腔打開的次數，尤其是在潮濕的天氣時，不能減少放氣現象的出現并提高真空退火爐的性能。
2、抽空速率
抽空速度是爐腔處于大氣壓時，真空閥打開，真空腔達到規定壓力的時間，是在任何壓力下(包括抽吸重質量氣體)測量系統性能的方法。為了取得可復現性，爐腔應清潔、排空并放氣，而且每個真空泵已經運行足夠的時間，達到完全抽吸速度。
3、極限真空
極限真空是實際完成放氣而取得的真空狀態，這時泄漏引起的氣體流動和真空抽吸系統以規定壓力排氣的能力平衡。為保持正確性，真空測量儀器必須足夠靈敏并經過準確校準。
將爐子升高到其最大沮度，加快系統的放氣。將爐子在真空下加熱并冷卻到室溫后，就可以測出真實的極限真空和泄露速度。真空泵的極限真空稱為“極限低壓”，是取得抽吸系統隔離性能的好方法。
4、泄漏率
泄漏率是指真空關閉時真空艙內壓力上升的速度，包括兩個方面:泄漏速度和放氣速度。泄漏速度是氣體通過艙內實際的泄漏點流動而引起的壓力上升，是恒定的;放氣速度(包括虛漏)是隨著艙的排空，逐漸接近于零。虛漏是真空艙壁內夾帶的體積，慢慢向艙內泄漏氣體。
泄漏率以每小時的微米汞柱(mmHg)值，通常測量1小時，泄漏率不超過每小時5mmHg。測量爐腔壓力上升速度時，排空爐腔并啟動循環加熱，待放氣完成后停止加熱，直至壓力保持恒定(極限真空)，然后關閉所有的真空閥，按循環停止按鈕隔離爐腔。這樣可盡量減少關閉閥門帶來的影響，同時讓系統達到平衡。經過一小時后，再次測量真空，計算單位時間內壓力的上升情況。比如:如果測到的初始壓力為5mmHg，經過一小時后為8mmHg，那么上升速度為每小時3mmHg。
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